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快速退火爐設(shè)備說(shuō)明
- 分類(lèi)： 行業(yè)知識(shí)
- 作者：超級(jí)管理員
- 來(lái)源：本站
- 發(fā)布時(shí)間：2023-01-18
- 訪(fǎng)問(wèn)量： 1058
【概要描述】快速退火爐采用鹵素紅外線(xiàn)燈作為熱源，通過(guò)較快的升溫速度將晶圓或材料快速加熱至300°C-1200°C···
快速退火爐設(shè)備說(shuō)明
【概要描述】快速退火爐采用鹵素紅外線(xiàn)燈作為熱源，通過(guò)較快的升溫速度將晶圓或材料快速加熱至300°C-1200°C···
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快速退火爐采用鹵素紅外線(xiàn)燈作為熱源，通過(guò)較快的升溫速度將晶圓或材料快速加熱至300°C-1200°C，從而消除晶圓或材料的部分缺陷，提高產(chǎn)品性能。
快速退火爐采用先進(jìn)的微電腦控制系統(tǒng)和PID閉環(huán)控溫，可達(dá)到較高的控溫精度和溫度均勻性，并可根據(jù)用戶(hù)工藝要求配備真空室或多路氣體。
快速退火爐主要由真空室、加熱室、進(jìn)氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)、風(fēng)冷系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)等組成。
真空室：真空室是快速退火爐的工作空間，晶片在此進(jìn)行快速熱處理。
加熱室：加熱室采用多顆紅外燈作為加熱元件，以耐高溫合金為框架，以高純石英為主體。
進(jìn)氣系統(tǒng)：真空室末端有進(jìn)氣孔，采用精確控制的進(jìn)氣口，以滿(mǎn)足某些特殊工藝的用氣要求。
真空系統(tǒng)：真空泵與真空腔之間裝有高真空電磁閥，可有效保證腔體的真空度，同時(shí)防止氣體回流污染腔體內(nèi)已加工的工件。
溫控系統(tǒng)：溫控系統(tǒng)由溫度傳感器、溫度控制器、電源調(diào)節(jié)器、可編程控制器、PC機(jī)及各種傳感器組成。
風(fēng)冷系統(tǒng)：真空室的冷卻是通過(guò)進(jìn)風(fēng)系統(tǒng)向腔內(nèi)充入惰性氣體，以加速熱處理工件的冷卻，達(dá)到工藝要求。
水冷系統(tǒng)：水冷系統(tǒng)主要包括真空室、加熱室、各部件密封圈的冷卻水。
以上就是武漢嘉儀通科技有限公司小編收集的內(nèi)容，如有需要請(qǐng)與我們聯(lián)系。公司集快速退火爐、熱電性能測(cè)試、芯片晶圓熱處理、鍵合爐、熱氮化、薄膜熱導(dǎo)率、退火爐、去應(yīng)力退火、金屬合金化、薄膜熱處理、熱氧化、霍爾系數(shù)的研發(fā)、市場(chǎng)和技術(shù)服務(wù)于一體。公司專(zhuān)注于薄膜材料物理性能測(cè)量?jī)x器的自主研發(fā)，致力于為客戶(hù)提供薄膜材料的高低溫環(huán)境試驗(yàn)、熱、電等性能測(cè)試分析的整體解決方案。公司始終堅(jiān)持自主研發(fā)與應(yīng)用創(chuàng)新，擁有自己的技術(shù)工程師研發(fā)團(tuán)隊(duì)，建有省級(jí)工程實(shí)驗(yàn)室、新型研發(fā)機(jī)構(gòu)以及市企業(yè)技術(shù)中心平臺(tái)，主持承擔(dān)參與了 10 余項(xiàng)科技攻關(guān)項(xiàng)目。
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