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良心國貨！嘉儀通科技快速退火爐簡介及其應用
- 分類： 行業(yè)知識
- 作者：嘉儀通科技
- 來源：本站
- 發(fā)布時間：2022-06-01
- 訪問量： 1114
【概要描述】一、原理參數(shù)均采用紅外加熱方式對爐腔輻射加熱，PID模糊控制實現(xiàn)溫度升降及保持。能完成特定條件下的熱···
良心國貨！嘉儀通科技快速退火爐簡介及其應用
【概要描述】一、原理參數(shù)均采用紅外加熱方式對爐腔輻射加熱，PID模糊控制實現(xiàn)溫度升降及保持。能完成特定條件下的熱···
- 分類： 行業(yè)知識
- 作者：嘉儀通科技
- 來源：本站
- 發(fā)布時間：2022-06-01
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詳情
一、原理參數(shù)
均采用紅外加熱方式對爐腔輻射加熱，PID模糊控制實現(xiàn)溫度升降及保持。能完成特定條件下的熱處理工藝來改變消除材料或晶圓內(nèi)部缺陷，從而改善其性能。
適用場景：注入離子后的擴散退火、電極合金化、快速熱退火、熱氧化和熱氮化、薄膜CVD生長、晶向化和堅化、石墨烯等氣相沉積、ITO膜致密化、器件退火等
快速退火爐系列技術參數(shù)一覽表
二、部分客戶案例及使用場景
合作使用單位：
·清華大學 ·浙江大學 ·中國科學院深圳先進技術研究院
·華中科技大學 ·華南理工大學 ·北京大學深圳研究生院
……
三、部分相關文獻
四、關于公司
武漢嘉儀通科技有限公司成立于2009年，是以薄膜物性測量儀器作為戰(zhàn)略定位，技術自主創(chuàng)新的高新技術企業(yè)。公司集快速退火爐，霍爾效應測試，RTP，RTA，RTO，熱電參數(shù)測試，Seebeck系數(shù)測試，電導率測試，熱導率測試，相變溫度分析，液氮低溫恒溫器等物性檢測儀器和半導體工藝設備的研發(fā)、市場和技術服務于一體，且相繼被評為湖北省“百人計劃”及武漢市政府“城市合伙人”企業(yè)。
公司始終堅持自主研發(fā)與應用創(chuàng)新，擁有自己的技術工程師研發(fā)團隊，建有省級工程實驗室、新型研發(fā)機構以及市級企業(yè)技術中心平臺，擁有知識產(chǎn)權100多項，主持承擔參與了10余項科技攻關項目。2020 年，公司研發(fā)的“薄膜材料熱特性測試技術及儀器”技術與產(chǎn)品榮獲了“湖北省技術發(fā)明一等獎”。核心序列產(chǎn)品廣泛應用于大專院校、科研院所、第三方檢測機構和工業(yè)企業(yè)等細分領域，并服務于國內(nèi)外近500家客戶。其中包括華為海思半導體公司、長江存儲公司、三安光電、天馬微電子、武漢光迅等半導體工業(yè)企業(yè)；清華大學、國防科技大學、北京航空航天大學、武漢大學等大專院校；綿陽九院、中科院化 學所、中科院電工所、中科院物理所等科研院所；中國計量科學研究院、國家石墨烯質(zhì)檢中心等第三方檢測機構。除此之外，核心產(chǎn)品還遠銷美國、英國、日本、澳大利亞、以色列、香港、澳門、臺灣等20多個國家和地區(qū)，實實在在為新材料的科研和生產(chǎn)創(chuàng)造了價值。未來，公司依托省級科研共享平臺的大數(shù)據(jù)分析，為全球用戶的薄膜技術研究及戰(zhàn)略方向提供理論依據(jù)與數(shù)據(jù)支撐。
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