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RTP快速退火爐能提升碳化硅（SiC）芯片歐姆接觸的穩(wěn)定性
- 分類： 行業(yè)資訊
- 作者：管理員
- 來源：本站
- 發(fā)布時間：2024-08-16
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【概要描述】RTP快速退火爐以其快速升降溫能力和高度的溫度均勻性，在金屬/SiC歐姆接觸的制備過程中展現(xiàn)出了高穩(wěn)···
RTP快速退火爐能提升碳化硅（SiC）芯片歐姆接觸的穩(wěn)定性
【概要描述】RTP快速退火爐以其快速升降溫能力和高度的溫度均勻性，在金屬/SiC歐姆接觸的制備過程中展現(xiàn)出了高穩(wěn)···
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RTP快速退火爐以其快速升降溫能力和高度的溫度均勻性，在金屬/SiC歐姆接觸的制備過程中展現(xiàn)出了高穩(wěn)定性。通過精準調控退火工藝參數(shù)，RTP能夠快速激活金屬與SiC界面處的化學反應，促進“化合物降低勢壘”或“碳空位減薄勢壘”機制的發(fā)生，從而顯著提升歐姆接觸的穩(wěn)定性。
RTP快速退火爐和普通管式爐制備SiC芯片的性能對比
實驗數(shù)據(jù)表明，采用嘉儀通RTP快速退火爐制備的SiC芯片，在I-V測試中展現(xiàn)出了完美的線性特征，這是歐姆接觸形成的直接標志。同時，其接觸電阻極低，遠低于50 Ω，充分證明了RTP技術在提升歐姆接觸質量方面的卓越性能。
相比之下，傳統(tǒng)的管式爐等退火設備，難以達到理想的效果。由于升降溫速度較慢且溫度均勻性較差，難以精準控制金屬電極的取向生長，導致歐姆接觸的質量參差不齊，甚至可能出現(xiàn)整流特性而非歐姆特性，嚴重影響器件的性能。
因此，RTP快速退火爐的引入，不僅為碳化硅(SiC)芯片歐姆接觸的制備提供了一種更為高效、精準的方法，更為SiC大功率器件的效率提升、增益增強和開關速度加快奠定了堅實的基礎。
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