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碳化硅石墨托盤(pán)

碳化硅石墨托盤(pán)是快速退火爐RTP系列配件，采用進(jìn)口等靜壓石墨精密制造，可有效提高設(shè)備的溫度均勻性（以嘉儀通RTP-3-08為例，溫度均勻性可以從1.5%提升到1.0%）。
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1、耐高溫

2、導(dǎo)熱導(dǎo)電性好

3、化學(xué)性能穩(wěn)定

4、高硬度


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碳化硅石墨托盤(pán)
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