自立式4吋快速退火爐(RTP-3-04系列)

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測(cè)量精度:

溫度范圍:

響應(yīng)時(shí)間:

數(shù)量

庫(kù)存:



產(chǎn)品特點(diǎn)

案例客戶

相關(guān)應(yīng)用

視頻介紹

可測(cè)大尺寸樣品：可測(cè)單晶片樣品的尺寸為1-4英寸。
可遠(yuǎn)程操作：提供遠(yuǎn)程監(jiān)控模塊。
壓力控制系統(tǒng)創(chuàng)新設(shè)計(jì)：高精度控制壓力，以滿足不同的工藝要求。
存儲(chǔ)熱處理工藝：方便工藝參數(shù)調(diào)取，提高實(shí)驗(yàn)效率，數(shù)據(jù)可查詢。
快速控溫與高真空：最高升溫速率可達(dá)150℃/s，真空度最高可達(dá)到10^-3Pa。
程序設(shè)定與氣路擴(kuò)展：可實(shí)現(xiàn)不同溫度段的精確控制，進(jìn)行降溫段的自動(dòng)轉(zhuǎn)接，并能夠?qū)に嚥藛芜M(jìn)行保存，方便調(diào)用。采用MFC精確控制氣體流量，實(shí)現(xiàn)不同氣氛環(huán)境（真空、氮?dú)獾龋┫碌臒崽幚怼?/span>
獨(dú)特的腔體空間設(shè)計(jì)：保證大尺寸樣品的溫場(chǎng)均勻性 ≤1%。
全自動(dòng)智能控制：采用全自動(dòng)智能控制，包括溫度、時(shí)間、氣體流量、真空、冷卻水等均可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制。
超高安全系數(shù)：采用爐門安全溫度開啟保護(hù)、溫控器開啟權(quán)限保護(hù)以及設(shè)備急停安全保護(hù)三重安全措施，全方位保障設(shè)備使用安全。
國(guó)產(chǎn)退火爐：擁有自主研發(fā)技術(shù)和制造能力，能快速反應(yīng)客戶售后需求。

產(chǎn)品應(yīng)用場(chǎng)景

本公司4吋快速退火爐產(chǎn)品的具體應(yīng)用場(chǎng)景

金屬電極合金化························華為海思半導(dǎo)體、中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所、浙江大學(xué)微電子系
硬質(zhì)合金薄膜去應(yīng)力退火················哈爾濱工業(yè)大學(xué)航天學(xué)院等
石墨烯生長(zhǎng)····························中科院寧波材料技術(shù)與工程研究所等
器件退火RTP······························清華大學(xué)微電子系等
材料再結(jié)晶、晶化······················華南理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院等
熱氧化RTO、熱氮化RTN································浙江大學(xué)硅材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)國(guó)家示范性微電子學(xué)院等
ITO膜致密化···························浙江大學(xué)信息與電子工程學(xué)院等
應(yīng)用于超凈間··························中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所、清華大學(xué)微電子學(xué)研究所
薄膜CVD生長(zhǎng)··························武漢理工大學(xué)材料復(fù)合新技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室等
搭載電學(xué)測(cè)試模塊變溫電阻測(cè)量···········華中科技大學(xué)微電子學(xué)院、中國(guó)工程物理研究所
等離子注入/接觸退火
太陽(yáng)能電池片鍵合
低介電材料熱處理
芯片晶圓熱處理RTA
鍵合爐/合金爐
其他熱工藝需求